行业应用



美国LIGHTHOUSE尘埃粒子计数器在半导体行业的应用
来源: 作者: 发布时间:2021-01-01 20:04  
半导体

      无尘室认证和测试对于任何洁净设施来说是十分重要的一部分。莱特浩斯开发了微粒计数器专门针对无尘室测试和认证的。带有数据储存和恢复功能的轻巧、耐用的仪器,对于无尘室认证报告的下载来说是安全和简便的。

      我们公司的仪器和系统专为有效地、精确地并持续地监测污染而设计。适时的监测是不可缺少的,它能够减少-防止无尘室中因空气微粒污染造成生产上的损失。我们的系统能在污染产生并对生产进程造成威胁时立即激活报警系统。另外,同样的系统还能在降低产量的不良情况以前显示状态。无尘室监测通常要求不同的补充技术。莱特浩斯提供了完整的解决方案,包括手动操作的手提式和便携式微粒计数器,全自动监测系统,不间断地实时微粒计数仪器。

       当半导体晶元线宽越小,受污染的可能性就越大。为了减少污染对生产威胁,许多晶片都适应在微型生产环境和机器人运作的环境中生产。这些技术将晶片和操作工隔离开。然而却不能避免晶元受到所有污染威胁。从微环境,SMIF pods,FOUPs,到加载设备, 监测系统能确保每一个步骤的安全准确。

       未被发现的污染会降低在湿度化学状态下化学药品的传输。监测大量传输系统在使用中或在分配过程中的清洁度,以保持化学药品低于临界纯净度。

       消电离作用系统的效用对于生产极其重要。因为负面渗透或消电离作用系统利用复杂生产工艺在所有的装配程序中生产超纯水,然而污染会影响整个设备在生产中的功能。在超纯水循环对于微粒的监测是生产中保持水质的一种方式。